01

制绒

目的:去除表面脏污和切割损伤层, 形成陷光结构;

方法:在热碱性溶液中通过各向异性腐蚀形成金字塔结构。

02

前硼

目的:掺杂形成PN结,形成内建电场,分离载流子;

方法:通过高温下BCl3扩散形成P+层,形成内建电场。

03

SE

目的:在金属电极区域形成重掺杂区,其余地方保持轻掺;

方法:在金属电极区域通过SE激光形成选择性掺杂。

04

后硼

目的:修复SE重掺杂区域被激光破坏的BSG,起保护作用;

方法:高温下热氧化修复,形成完整的BSG。

05

去BSG

目的:去除背面和侧面的BSG;

方法:链式结构利用HF刻蚀背面和侧面的BSG。

06

碱抛

目的:背面抛光使硅片表面光滑平整,提高氧化隧穿层均匀性以及钝化效果,从而提高太阳能电池的光电转换效率;

方法:槽式热碱性溶液去除背面的金字塔绒面,形成平整的塔基结构。

07

PE-Poly

目的:形成背面隧穿氧化层和非晶硅层选择性钝化结构。

方法:PECVD原位掺杂形成背面超薄SiOx和n+非晶硅层。

08

退火

目的:非晶硅表面转化为多晶硅,激活P形成掺杂n+结构。

方法:通过高温晶化非晶硅,同时激活磷并形成电子隧穿通道。

09

去PSG

目的:去除侧面和正面绕镀的PSG。

方法:链式结构利用HF刻蚀正面和侧面的PSG。

10

RCA

目的:去除侧面的N-poly硅和正背面的BSG/PSG。

方法:槽式热碱性溶液中刻蚀n-poly Si,HF刻蚀BSG/PSG 。

11

双面ALD

目的:AlOx薄膜提供表面钝化和场钝化效果,提高太阳能电池开压和降低表面少复合。

方法:通入TMA利用原子层沉积方式生长双面AlOx薄膜。

12

正背膜SiNx

目的:沉积SiNx减反射薄膜,减少光的反射和防氧化。

方法:利用PECVD将通入的SiH4/NH3电离分解生长SiNx减反射薄膜。

13

印刷&烧结

目的:硅片表面印刷金属浆料,烧结后形成导电电极引出电流。

方法:分步印刷正背面主栅和副栅,烧结后形成金属电极。

14

测试分选

目的:成品测试分选,按照不同等级和功率分选打包。

方法:通过AOI、EL和电性能测试,将电池成品分等级和功率包装。